wat8大好處

目前主流的生产系统是8英寸和12英寸的工厂，12英寸晶圆较8英寸大了2.25倍，制程的控制难度也更大；然而工厂把大的晶圆使用在高阶的制程，对控制的要求反而更高。 由于工序相当繁复，从投片到产出可能包含近千个步骤，耗时一到三个月，必需使用制造流程（process flow）控制各阶段制程的质量。 晶圆上用于收集WAT数据的测试结构称为WAT测试结构（WAT testkey）。 划片槽的宽度可以从最小的60μm做到150μm，芯片代工厂依据芯片切割机器（Die Saw）的精度要求制定划片槽的宽度设计要求，力求做到最小宽度及最小面积。 关于芯片的制造工艺，大家都知道随着先进技术节点的发展，目前芯片的制造工序已经达到上千道工序。

这里让人想起一个事情，就是以前去新能源行业交流的时候，客户总是问我们，为什么你们拿出来展示的资料都是英文版的。 我们说我们做的几个行业分别是半导体和锂离子电池，很多半导体行业缩略语翻译成中文的话，不太好翻译，另外，就是我自己比较懒，也不太愿意去翻译和折腾。 这里我们接下来就不纠结于中文的翻译了，咱们还是以WAT直接来说吧。 內容包含食、衣、住、行、育、樂上的各種記錄及經驗分享。 wat 主要目的是模擬客戶的電路，及監控晶圓廠製程式穩定度，用以提升產品的良率。

wat: 半导体行业的局外人与局中人

WAT的目的是通过测试晶圆上特定测试结构的电性参数，检测每片晶圆产品的工艺情况，评估半导体制造过程的质量和稳定性，判断晶圆产品是否符合该工艺技术平台的电性规格要求。 wat WAT测试结构通常包含该工艺技术平台所有的有源器件、无源器件和特定的隔离结构。 无源器件包括方块电阻、通孔接触电阻、金属导线电阻和电容等。 隔离结构包括有源区（AA）之间的隔离，多晶硅之间的隔离和金属之间的隔离。 WAT参数是指有源器件、无源器件和隔离结构的电学特性参数。

不但要监控关键的电性和物性，使其在整个晶圆的范围内达到一定标准（SPEC）；还得让每一片生产的晶圆都达到这一标准。 因此必须引入统计制程管制来完善质量监控。 WAT测试是非常重要的，因为这是晶圆产品出货前第一次经过一套完整的电学特性测试流程，通过WAT数据来检验晶圆产品是否符合该工艺技术平台的电性规格要求，以及工艺制造过程是否存在异常。

wat: Meaning of wat in English

下图即为从质量与可靠性管理的角度来绘制的芯片制造主要流程。 WAT测试类型，根据温德通编著《集成电路制造工艺与工程应用》一书文本类容绘制的思维导图上图主要是以CMOS工艺技术平台为例。 WAT是晶圆制造的一个重要站点，它是用来检测（也称检验）已经制造完成的晶圆上，各种器件的各方面电学性能（Electrical Performance）是否满足规格要求。 如果某些重要参数没有符合要求，晶圆将会被报废，不会进入下一阶段。

測試內容包括NMOS元件、PMOS元件、電阻、接觸電阻、內部連接的測試結構、電容、BJT、規則檢查、可靠度圖樣等。 在参考资料中，作者不仅对要测试的内容作了综述，同时还对影响相关测试的内容作了补充，比如影响MOS器件某一性能的影响因素都有什么，主要的工艺影响因素是什么，均作了相应的介绍。 以前做业务的时候，经常问同事，集成电路的工程师到底关注晶圆或者器件的什么性质，哪些性质是通过实验设备测得的，哪些可以是通过模拟仿真获得的。 同事就说去看WAT或者集成电路参数手册。

wat: WAT是什麼意思？WAT是什麼的縮寫？

对它们来说，WAT测试项目和良率测试项目是相同的，所谓的WAT只是预先抽样进行良率测试而已。 有的时候甚至会选择不做WAT，直接进行良率测试。 在切割道上不放置WAT测试结构的另外一个好处，是可以降低晶圆封装时的切割难度。 对于采用90nm 以下先进工艺制造的产品，切割道上测试结构的设计会影响晶圆切割质量的现象，已经成为众所周知的事情。 在芯片与封装交互作用的研究中，这也成为了一个重要的课题。

液晶显示器驱动芯片（Liquid Crystal Display Driver，LCD Driver）是另一类不会在切割道上放置测试结构的产品。 因其形状又长又窄，而又不能预先减薄晶圆，所以在整体考虑质量控制的策略之后，通常会选择不在切割道上放置测试结构。 其实，很多的案例也表明，复杂的切割道测试结构设计，不仅会给封装切割带来困难，同时也会给晶圆的制造带来很多额外的风险。

wat: Translation of wat – English–Mandarin Chinese dictionary

后来，一听还要动脑子去找相关资料，就不愿意去干了，不知道如何以及从何处搜索资料。 正好最近在研究集成电路制造工艺相关的资料，就看到了让人心中一动的资料。 主干线以上部分，是质量与良率（Yield）管理中需要用到的主要系统和方法；主干线以下部分，则是可靠性管理工作中所要用到的主要手法及管理要点。 WAT的英文全称是Wafer Acceptance Test，WAT。 中文有人翻译为晶圆接受测试，有人翻译为晶圆可接受测试等等翻译。

比如，因为负载效应（Loading Effect），切割道上大块的铜金属结构会导致附近晶粒边缘的铜线磨不均匀，而容易出现短路（Short）或者断路（Open）。 所以在设计WAT测试结构的时候，要遵循一定的规则，同时也需要非常细心、谨慎。 上图中的主干线就是将芯片的制造分割为这些主要的过程，并且每个过程都有输出的参数，用于监控。

wat: ​Become a WATer and enjoy more offers!

主干线上下所列举的，是在每一阶段，质量与可靠性管理所需要用到的重要系统和方法。 实际上，监控并不是越多越好、覆盖越广越好，一味地追求数据的完整性。 因为任何生产都是需要考虑成本的，而监控的数据越多，系统越庞杂，所需要投入的初始成本和运营成本也将越高。 质量与可靠性需要的是更合适、更先进的技术方法，能够帮助企业提升产品质量与可靠性的同时，达到提高成本利润率的目的。 WAT是英文Wafer Acceptance Test的缩写，意思是晶圆接受测试，业界也称WAT为工艺控制监测（Process wat Control Monitor，PCM）。 WAT是在晶圆产品流片结束之后和品质检验之前，测量特定测试结构的电性参数。

WAT测试在大多数情况下，都是利用晶圆切割道（Scribe Lane）上专门设计的测试结构（Test Pattern或Test wat Structure）完成的。 通过这些测试结构的组合和测试结果的分析，我们基本上可以监控到晶圆制造的每一道工序。 但是某些特殊的产品，如功率器件（Power IC），为了充分利用晶圆的面积，增加每片晶圆上晶粒的数目，会尽量压缩切割道的面积，从而导致切割道太小，无法放置测试结构。 当然，这类产品的制造工艺和电路设计一般都比较简单，所以不需要浪费面积设计测试结构，而是可以通过直接测试晶粒来完成WAT。

wat: Translations of wat

中国大尺寸硅片布局盘点芯片在出厂前要进行各项检测，以确认整个生产流程能达到上述要求。 出厂检测包含器件电性参数的量测（Wafer Acceptance Test，WAT），WAT量测包含大多数使用器件的参数，如电阻器的阻值、MOS的栅极氧化层电容值、MOSFET的特性等。 这些电性参数可以反应制程工艺是否正常，而掌握工艺对电性的影响更是制程研发的关键。 摩尔定律集成电路的设计十分复杂，动辄使用数百万到数十亿个逻辑门数量（gate count），每一个逻辑门和其他器件的电性参数必须同时达到标准，否则芯片可能无法正常运作。 一片晶圆通常有数十到数万个芯片，保持制程的均一性相当重要。

• WAT是在晶圆产品流片结束之后和品质检验之前，测量特定测试结构的电性参数。
• 比如，因为负载效应（Loading Effect），切割道上大块的铜金属结构会导致附近晶粒边缘的铜线磨不均匀，而容易出现短路（Short）或者断路（Open）。
• 測試內容包括NMOS元件、PMOS元件、電阻、接觸電阻、內部連接的測試結構、電容、BJT、規則檢查、可靠度圖樣等。
• 我们说我们做的几个行业分别是半导体和锂离子电池，很多半导体行业缩略语翻译成中文的话，不太好翻译，另外，就是我自己比较懒，也不太愿意去翻译和折腾。
• 主要目的是模擬客戶的電路，及監控晶圓廠製程式穩定度，用以提升產品的良率。

而集成电路本身又是技术密集型和资金密集型的行业。 所以，对于集成电路芯片制造的良率以及可靠性等内容，是集成电路制造厂以及相关产业链角色极为关注的内容。 插播一下，关于芯片良率的内容，大家可以参考我之前撰写的文章，虽然比较简单，但是可以给大家一个粗略的认知。 wat 参考简维廷等人编著的《半导体制造中的质量可靠性与创新》一书，咱们从可靠性以及良率的角度来看看WAT到底处于芯片制造流程中的哪一个环节。

wat: WAT Super

由香港SEO公司 featured.com.hk 提供SEO服務